特点:
● 高性能、高精度
● 非接触式点胶,最高频率1000dot/s
● 大品牌元件,可靠性高
● 使用寿命长,维护成本低
● 高精度胶量控制
● 最小胶量2~3nl
● 最小胶点直径0.15mm
多种搭配方案:
● 多种产品规格,适应各类基板尺寸
● 双阀、双轨、三段轨道、底板加热、倾斜点胶、自动称重等多种功能配置方案
● 全系平台通用化设计,可以快速切换各种阀类搭配,适应各种工艺应用
超高性价比:
● 一体化结构设计,结构紧凑稳定,可靠性高
● 大品牌元件,可靠性高,故障率低
● 精准点胶系统,精密运动控制,精确的视觉软件,满足各类点胶需求
规格参数:
产品型号 | AI-800H | AR-800H |
整体结构 | 在线式柜式机 | 离线式柜式机 |
应用领域 | 芯片底部填充,精密包封,导电银胶,红胶,锡膏等应用 |
洁净等级 | 万级/千级/百级 |
外形尺寸(W x D x H) | 803mm x 1400mm x 1700mm | 803mm x 1400mm x 1700mm |
驱动方式 | X、Y直线电机,Z丝杠 | X、Y直线电机,Z丝杠 |
XYZ三轴行程 | 400mm×650mm×50mm | 400mm×500mm×50mm |
点胶区域 | W x D =350mm x 500mm(单阀) | W x D =350mm x 400mm (最大12寸晶圆) |
轨道高度 | 高度900±20mm | 无轨道(工作台高度900±20) |
最高承重(含夹具) | 3kg | 10kg |
流水线宽度 | 50mm~500mm |
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夹边要求 | T:0.5~8mm,W:4mm±1mm |
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轨道传送方向 | 左进右出,右进左出(可选) |
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物料传输 | SMEMA接口或上下料模块 | 离线上料 |
定位精度 | ±10μm@3σ(X,Y),±10μm@3σ(Z) | ±10μm@3σ(X,Y),±10μm@3σ(Z) |
重复精度 | ±5μm@3σ(X,Y),±5μm@3σ(Z) | ±5μm@3σ(X,Y),±5μm@3σ(Z) |
最大速度 | 1000 mm/s (X,Y) | 1000 mm/s (X,Y) |
最大加速度 | 1g(X,Y) | 1g(X,Y) |
CCD像素 | 500W,视野14mmx10mm | 500W,视野14mmx10mm |
称重系统 | 0.1mg或0.01mg(选配) | 0.1mg或0.01mg(选配) |
光源 | 三色光源和同轴光源 | 三色光源和同轴光源 |
机器外壳 | 喷粉烤漆,可选镜面不锈钢 | 喷粉烤漆,可选镜面不锈钢 |
产品固定方式 | 夹边/真空吸附 | 真空吸附 |
加热温度 | 室温~120度 | 室温~120度 |
整机功率 | 2200W+3600W(3个加热台) | 2200W+1200W(单个加热台) |
进气 | (0.5Mpa,450L/min)X2路 | (0.5Mpa,250L/min)X2路 |
整机重量 | 800KG | 800KG |